校准无尘室气流流形检测仪的主要步骤
更新时间：2025-12-19 点击次数：22次
无尘室气流流形检测仪利用超声雾化的原理，将DI水雾化成1-10微米左右的大量水滴，建立一个气溶胶，于是在4-6磅的背压下由风扇吹出，可以显示出洁净室气流组织状态，发现湍流。水雾发生器可以满足多方面的应用，如100级及以上级别的净化车间，这个小的，易用的工具可以仅仅使用DI水就可以显示出在控制区域的气流组织和湍流现象，喷雾输出大约在60华氏度，单个风扇吹出4CFM的雾量，持续约30分钟，开关控制喷雾，100-10000级净化车间用16兆欧DI水，1-10级净化车间需要64兆欧的DI水。
校准无尘室气流流形检测仪需遵循以下步骤：
校准前准备：
环境确认：确保洁净室处于正常运行状态，温湿度稳定，无强电磁干扰。
工具准备：准备标准气体（零气体和量程标气）、流量计、减压阀等。
设备检查：开机预热，检查传感器寿命及电量。
校准步骤：
零点校准：
将检测仪置于无目标气体环境（通入高纯氮气）。
调节流量至要求值。
进入标定模式，选择“零点标定”，待数值稳定后确认。
量程校准：
通入标准气体（如20.9% O₂或已知浓度目标气体）。
调节流量至稳定，进入标定模式，选择“量程标定”。
待读数稳定后确认。
验证测试：
使用另一种浓度的标准气体验证，误差应控制在±5%内。
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