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洁净室的检测规范

更新时间:2016-08-22   点击次数:1456次

在测试无尘室之前,若是能对测试规范、无尘室基本概念、无尘室的术语等有些了解,对测试当有帮助。这里是一些背景资料,提供给读者参考。
  有关无尘室定义、建造、控制、管理等等的标准,在网络上用〝contamination control〞搜寻,可以找到很多相关数据。无尘室的定义,zui早是在美国联邦标准209上出现,之后日渐普及并广为半导体业与制药业接受。在欧洲与日本,随着工业的日益发展,各国的版本也逐渐出现。到了90年代后期,产业界体认到若是无共同标准,就不能实现经济的化,于是有ISO-14644的产生。以下说明无尘室的各种标准与规范。
1.Federal Standard 209E (Fed-Std-209E) :美国联邦标准209E209的出版发行,是在1960年代,之后不断改版以因应科技进步与工业发展,版本从原始的209209A,一直到1992年的zui后一版209E。在20011129日,美国正式宣布废止209E,改用ISO-14644,于是209E在书面上走入历史。但是在产业界,除了部份的欧洲公司之外,美国、日本、中国台湾、与中国大陆,都还沿用209E。微粒计数器的制造商,虽然都推出满足公制计数法的新机型,但是要等旧机器*淘汰,恐怕还要很长时间,因此新规范ISO-14644还没能取代209E
2.ISO-14644系列;美国政府为了推动经济化,就很大方的放弃了自己的209E,改而推行全部使用公制的标准ISO-1464414644系列有8个子题<Part>,称为14644-114644-2,一直到14644-8。整个系列涵盖了等级定义、测试与监视的规范、测试的程序方法、设计与建造、操作、以及其它的有关设备等,范围很广。有些主题已经定案,如Part 1Part 2,有些只有初稿<Draft>,有些连初稿都还没有,读者可以到ISOIEST的上订购。
3.JIS B9920 (1989):日本的洁净标准,规定无尘室中浮游粒子的浓度测定方式,及洁净度的等级定义。
4.VDI 2083 (1993):德国的洁净标准,规定洁净度等级的定义方式,以及洁净度的测量技术。
5.Gost-R 50766 (1995):俄的洁净标准,定义无尘室的分类与一般需求。 
  以上是无尘室等级规定,与洁净度测量的相关标准。另外有关无尘室污染控制<也就是洁净度控制>,和环境控制<如温湿度、震动噪音等>,也有一些重要的测试规范,因为这些环境影响因素,都包含在无尘室性能测试的范围之内。
1.IEST-RP-CC-006.2:这本有名的测试规范,目的就是为了补209的不足。209只有微粒测量,006 包括了风速风量、滤网泄漏、洁净度、温湿度、平行度、恢复率、粒子沉降测试、照度等。006 的*版称为006-84-T006.2是第二版。现在由于 NEBB 的兴起,0062已经功成身退,逐渐消失了。
2.NEBB 无尘室测试规范第二版:这是目前zui广为流行的测试规范,提到无尘室认证,就非 NEBB 莫属。NEBB 无尘室测试规范,可说是IEST-0062的改良版,其测试涵盖范围差不多,但是测试程序更为清楚严谨,仪器使用也有详细规定。因此 NEBB 无尘室测试规范的出现,解决了不少测试的争议,也因此 NEBB 无尘室测试规范成功的成为产业标准。有关 NEBB,请参照本站 NEBB
3.ISO-14698 系列:14698  Part 1Part 2Part 3 三个子题,是有关无尘室里面生物污染的控制,目前都只有初稿。 
  每一种行业,甚至每一家公司或工厂,对无尘室的要求可能都不一样。以上所列无尘室定义与无尘室测试规范,虽然以可满足大部份厂商的需求,但是严格来讲,这些规范也只是一个参考。各公司在订定测试规格时,应依照自己的制程需求,在上述规范里取出自己适用的部份,并要求供货商与测试单位照办,必要时可以酌情修改测试标准,才能真正满足自己的需求。